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ई-एलएमटी-एक्सवाईजेड (उच्च परिशुद्धता रैखिक मोटर एक्सवाईजेड एक्सिस चरण
| विनिर्देश | एलएमटी-एक्सवाई-200X200 | ABVT-Z20 (वायु असर रेल) |
| मोटर प्रकार | तीन चरण लौह रहित मोटर | वॉयस कॉइल मोटर + |
| संकल्प | डिफ़ॉल्ट 100 एनएम डिजिटल मात्रा | 1vpp नीचे 5nm करने के लिए |
| मोटर जोर | लगातार 60N/पीक 210N | लगातार 60N/पीक 210N |
| न्यूनतम चरण आकार [एनएम] | 200 एनएम | 100 एनएम |
| यात्रा [मिमी] | 200×200 | 10 |
| पुनरावर्तनीयता [उम] | ± 0.3 | |
| स्थिति सटीकता [उम] | ± 1 | ± 0.5 |
| समतलता [उम] | 10um | 5um |
| सीधापन [उम] | 1um | 1um |
| अधिकतम गति [मिमी/सेकंड] | 500 मिमी / एस | 30 मिमी / एस |
| भार क्षमता [किग्रा] | 5 किग्रा (वायवीय निरंतर बल संतुलन वजन के साथ जेड अक्ष) | |
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